等離子體清洗技術(shù)利用高能量等離子體的轟擊被清洗表面，通過(guò)物理作用使得污染物從金屬表面脫落，同時(shí)，電離氣體產(chǎn)生的活性粒子會(huì)與表面的有機(jī)物或者氧化物等發(fā)生化學(xué)反應(yīng)進(jìn)而生成易于揮發(fā)的物質(zhì)，脫落物質(zhì)通過(guò)真空泵的抽氣作用排出以達(dá)到清洗的效果。